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硅氧烷的凈化脫除主要有冷凍法和吸附法，冷凍法是將氣體冷卻到-39度，將硅氧烷由氣體轉化為液態或固態隨冷凝液一同排出，冷凍法特點是可以連續工作，自動化程度高，工作性能的可靠性易于保證。吸附法脫硅氧烷的原理是利用特定孔徑分布的活性炭實現對硅氧烷氣體的高效吸附，其特點是工藝簡單，再生/更換吸附劑的操作比較繁瑣，再生周期較短。

典型產品參數

• 最高環境溫度：30℃
• 最低環境溫度：-18℃
• 處理能力：30000Nm3/d
• 進氣壓力：0.15-0.20MPa
• 最高進氣溫度：35℃
• 進氣相對濕度：100%RH;
• 出口壓力露點：-20~-50℃
• 過濾效率：90%